Fokusni prsten od silicijum karbida

Keramički prstenovi za taloženje glinice služe kao kritične potrošne komponente unutar reakcionih komora opreme za hemijsko taloženje parom (CVD) i fizičko taloženje parom (PVD)-jezgra uređaja u proizvodnji poluvodičkih čipova. Njihov izbor materijala i zahtjevi za primjenu su izuzetno strogi. Obično se postavljaju oko nosača pločica (elektrostatičke stezne glave), oni čine dio procesa reakcije. U zahtjevnom okruženju proizvodnje poluvodiča, primarna uloga prstena za taloženje je da zaštiti skupe komponente jezgra (kao što su elektrostatičke stezne glave) od kontaminacije i taloženja nusproizvoda procesa, osigura uniformnost procesa i održava čistoću i stabilnost komore. Njegove performanse direktno utiču na rad opreme, troškove održavanja i konačni prinos čipova. Takve komponente spadaju u kategoriju precizne obrade glinice keramike, zahtijevajući stroge zahtjeve za visoku čistoću i superiorne performanse materijala od aluminijske keramike.

• Izuzetna otpornost na koroziju: Sposoban da izdrži eroziju od raznih korozivnih, visoko reaktivnih plinova plazme koji se koriste u CVD/PVD procesima, osiguravajući produženi vijek trajanja.
• Superiorna otpornost na visoke-temperature: Održava strukturnu stabilnost i performanse na temperaturama procesa koje dostižu stotine ili čak hiljade stepeni Celzijusa bez deformacije ili topljenja, pokazujući svoje karakteristike kao visoko{1}}aluminijska keramika na visokim temperaturama.
• Visoka čistoća i niska kontaminacija: Aluminijeva keramika visoke-čistoće (npr. 99,9% ili više) minimizira oslobađanje zagađivača kao što su metalni joni iz samog materijala u procesnu komoru pod visokim{4}}temperaturama i uslovima plazme, sprječavajući kontaminaciju pločica.
• Izvrsna mehanička čvrstoća i tvrdoća: Posjeduje dovoljnu krutost da održi stabilnost dimenzija dok izdržava mehanička naprezanja i sile instalacije. Robusna mehanička svojstva čine osnovu za sve oblike-bez obzira na to bilo da se radi o pločama od glinice, keramičkim šipkama od aluminijevog oksida (šipci od aluminijevog oksida) ili cijevima od aluminijevog oksida.
• Vrhunska izolacija: Kao izolacijski materijal, aluminijska keramika ne ometa funkciju prianjanja elektrostatičke stezne glave za pločice, osiguravajući sigurnost i stabilnost procesa.
• Umjerena toplinska provodljivost: Pomaže u homogeniziranju temperaturnog polja unutar komore dok sprječava pregrijavanje.
• Visoka preciznost i obradivost: Kroz napredne tehnike oblikovanja keramike i preciznu mašinsku obradu, mogu se postići složeni oblici sa izuzetnom preciznošću dimenzija i završnom obradom površine.

• Sirovine: Potreban je fini prah glinice, posebno za keramiku od glinice visoke{0}}čistoće. Aluminijum oksid (Al2O3) je osnovna hemikalija.
• Formiranje i sinterovanje: Uključuje proizvođače keramike od aluminijevog oksida koji koriste tehnike za proizvodnju aluminijskih keramičkih blankova.
• Precizna obrada: Izvode ga stručnjaci za mašinsku obradu glinice ili dobavljači dijelova, pretvarajući praznine u konačne komponente kao što su aluminijske keramičke ploče, aluminijske keramičke šipke ili složeni strukturni dijelovi od aluminijske keramike.
• Drugi oblici i primjene: Osim prstenova za taloženje, aluminijska keramika ima različite poluvodičke namjene, kao što su keramički supstrati od aluminijevog oksida (al2o3 supstrat) za pakovanje, aluminijske keramičke membrane i cijevi od aluminijskih vlakana za izolaciju.

Strogo slijedimo ISO 9001 sistem upravljanja kvalitetom kako bismo osigurali dosljednost:

• 100% kontrola sirovina
• Napredne proizvodne linije za vruće{0}}prešanje
• Interna ispitivanja: gustina, tvrdoća, analiza mikrostrukture
• Certifikati{0}}treće strane (SGS, CE, ROHS dostupni na zahtjev)

Popularni tagovi: Fokusni prsten od silicijum karbida, proizvođači, dobavljači, fabrika, глинозём керамик ярҙамсы импеллер