Opis proizvoda

Poluprovodnički keramički prsten je specijalna keramička komponenta visokih-performansi koja se koristi u kritičnim fazama procesa proizvodnje poluvodiča. Obično je napravljen od visoko-čistoće, visoke-precizne gustine keramičkih materijala i ima kružnu prstenastu strukturu. Služi kao ključni potrošni dio u reakcionim komorama poluvodičke opreme koja se koristi za procese kao što su difuzija, oksidacija, hemijsko taloženje pare (CVD) i jetkanje.

Njegove primarne funkcije uključuju podršku silicijumskim pločicama (ili formiranje specifičnih okruženja procesnog gasa i ravnomernih polja protoka) dok izdržavaju ekstremne radne uslove-uključujući visoke temperature, visoko korozivne gasove, bombardovanje plazmom i brzi termalni ciklus. Stoga, njegove performanse direktno utiču na stabilnost procesa, uniformnost, kontrolu kontaminacije česticama i na kraju na prinos finalnog proizvoda čipsa.

Semiconductor Ceramic Rings

detalji o proizvodu

Naziv proizvoda	Poluprovodnički keramički prsten
Boja	Prilagođeno prema zahtjevima klijenta
veličina	Prilagođeno prema zahtjevima klijenta
Pakovanje	Karton/paleta/drvena kutija (prema zahtjevu klijenta)
Vrijeme isporuke	Standardni proizvod-U roku od 3 dana
Dizajn predmeta	Prema crtežu ili uzorcima klijenta
Karakteristike	Dobar kvalitet, niska cijena, više tvornica, isporučuju vam na osnovu one najbliže vašoj lokaciji
Aplikacija	Industrial Ceramics
Certifikat	ISO, CE

Ključne karakteristike performansi

Materijal visoke čistoće

Odabir keramičkih sirovina visoke{0}}čistoće efikasno smanjuje smetnje nečistoća u procesu proizvodnje poluvodiča. Poluprovodnički keramički prstenovi su obično napravljeni od keramičkih materijala visoke- čistoće, kao što su aluminijum oksid, silicijum nitrid, itd. Imaju izuzetno visoku tvrdoću i mogu izdržati mehanički stres tokom obrade, efikasno osiguravajući stopu popuštanja i stabilnost performansi čipa.

Odlična otpornost na visoke temperature

U složenom toku procesa proizvodnje poluvodiča, mnogi ključni procesni koraci, kao što su difuzija i žarenje, moraju se izvesti u teškim okruženjima visokih{0}}temperatura. Poluprovodnički keramički prsten pokazao je izvanredne performanse u tom pogledu i može izdržati visoke temperature od stotina ili čak hiljada stepeni. Čak i pod tako ekstremno visokim temperaturnim uvjetima, poluvodički keramički prsten i dalje može čvrsto održati dobru mehaničku čvrstoću i strukturalni integritet. Štaviše, bez obzira na brze promjene visoke ili niske temperature, poluvodički keramički prsten neće pokazati nikakve nepovoljne uvjete kao što su deformacija, pucanje ili omekšavanje. Ovo obezbjeđuje-čvrstu i pouzdanu podršku za glatko napredovanje visoko{6}}procesa na visokim temperaturama u proizvodnji poluprovodnika, značajno poboljšavajući kvalitet i prinos čipova.

Odlična hemijska stabilnost

Poluprovodnički keramički prstenovi imaju odličnu hemijsku stabilnost, odličnu otpornost na koroziju na razne hemikalije i mogu ostati stabilni u teškim okruženjima obrade, osiguravajući čistoću i pouzdanost procesa proizvodnje čipova.

Precizna kontrola veličine

Proces proizvodnje poluprovodničkih keramičkih prstenova može postići izuzetno visoku dimenzijsku tačnost. Parametri poluprovodničkog keramičkog prstena kao što su unutrašnji prečnik, spoljašnji prečnik, debljina i ravnost površine mogu se precizno kontrolisati unutar izuzetno malih tolerancija. U opremi za proizvodnju čipova, ova precizna prilagodba dimenzija je ključna. Poluprovodnički keramički prsten može savršeno sarađivati s drugim komponentama kao što su pločice, elektrode, reakcione komore, itd. kako bi se osigurao ujednačen protok procesnih plinova i tekućina, i ravnomjerna distribucija fizičkih polja kao što su električna polja i magnetna polja, čime se pomaže u postizanju ujednačenosti i ponavljanja procesa proizvodnje u procesu proizvodnje. veliki-razmjer, visoka-efikasnost i visoko-kvalitetna proizvodnja čipova.

Dobre performanse električne izolacije

Poluprovodnički keramički prstenovi imaju izvrsna svojstva električne izolacije i mogu izdržati visoke napone bez kvara. Ova karakteristika omogućava poluprovodničkim keramičkim prstenovima da igraju izolacionu i izolacionu ulogu na ključnim lokacijama kao što su sistem elektroda i delovi za povezivanje kola opreme za proizvodnju čipova, osiguravajući sigurnost i stabilnost električnog sistema tokom procesa proizvodnje poluprovodnika i izbegavajući oštećenje čipa ili nesreće u proizvodnji uzrokovane električnim problemima.

Market Application

Poluprovodnički keramički prstenovi se prvenstveno koriste u tri ključna područja proizvodnje integrisanih kola: difuziji/termičkoj obradi, hemijskom taloženju pare (CVD) i suvom jetkanju (Etch).

Procesi difuzije/oksidacije/LPCVD

U cijevima za peći na visokim{0}}temperaturama, keramički prstenovi (često se nazivaju "lopatice za čamce" ili "čamci") koriste se za horizontalno ili vertikalno slaganje i podržavanje više silikonskih pločica. Moraju osigurati ravnomjerno zagrijavanje i uslove{2}}bez kontaminacije za sve vafle na temperaturama do 1200 stepeni. Keramički prstenovi od glinice se široko koriste u takvim aplikacijama.

Procesi hemijskog taloženja pare (CVD).

U CVD reakcionim komorama, keramički prstenovi služe kao prijemnici ili obloge komore, podržavajući pločice i optimizujući polja strujanja reakcionog gasa. Njihova ujednačena toplotna provodljivost je kritična za postizanje doslednog taloženja filma. Keramički prstenovi od aluminijum nitrida se široko koriste u ovoj oblasti zbog svoje odlične toplotne provodljivosti.

Procesi suhog graviranja

Ovo je jedna od najzahtjevnijih aplikacija za keramičke prstenove. U komorama za jetkanje ispunjenim visoko{1}}energetskom plazmom i korozivnim gasovima, keramički prstenovi funkcionišu kao fokusni prstenovi, prstenovi za zatvaranje ili obloge komore. Njihova primarna uloga je kontrola ujednačenosti distribucije plazme, zaštita zidova metalne komore od korozije i smanjenje kontaminacije česticama.Keramički prstenovi sa itrijum oksidom (Y₂O₃).postali su preferirani izbor za napredne procese jetkanja zbog svoje neuporedive otpornosti na eroziju plazme na bazi fluora{0}}.

Ostala pomoćna upotreba

Oni također mogu poslužiti kao izolacijske komponente u sistemima mjerenja ili prijenosa, ili kao granični prstenovi u robotici za rukovanje pločicama

Performanse proizvoda

Broj	Performanse	Jedinica	Aluminijum nitrid
			Aluminijum nitrid
			JC{0}}AN-210	JC{0}}AN-170
1	Gustina	g/cm3	3.32~3.34	3.31~3.33
2	Čvrstoća na savijanje	MPa	340~360	400~420
3	Čvrstoća loma	MPa·m1/2	3.35	3.35
4	Dielektrična konstanta	εr (20 stepeni, 1MHz)	8.8~9.0	8.7~8.9
5	Tvrdoća	GPa	12-16
	Tvrdoća	HRC	75-80
6	Volumenska otpornost	Ω·cm (20 stepeni)	10 10	10 10
7	Modul elastičnosti	GPa	310	320
8	Koeficijent toplinske ekspanzije	×10-6/k	4.8~5.0	4.5~4.7
9	Čvrstoća na pritisak	MPa	2100	2000
10	Abrazije	g/cm2	0.01	0.01
11	Toplotna provodljivost	W/m×k (20 stepeni)	200~220	160~180
12	Poissonov omjer	/	0.24	0.24
13	Čvrstoća izolacije	kv/mm	26~28	30~32
14	Temperatura	stepen	2500	2500

kontrola kvaliteta

Striktno poštujući ISO 9001 Sistem upravljanja kvalitetom, implementiramo potpunu-kontrolu kvaliteta procesa kako bismo osigurali dosljednu isporuku visoko-kvalitetnih proizvoda:

• 100% kontrola sirovina, garantujući kvalitet iz izvora
• Upotreba naprednih proizvodnih linija za vruće{0}}prešanje za stabilne i pouzdane procese
• Sveobuhvatan sistem{0}}kućnog testiranja koji pokriva analizu gustine, tvrdoće i mikrostrukture
• Dostupnost mjerodavnih certifikata treće strane (uključujući SGS, CE, ROHS, itd., na zahtjev)

Ostajemo posvećeni stalnom poboljšanju našeg sistema upravljanja, pružajući klijentima dosljedno i pouzdano osiguranje proizvoda.

certificate

zašto izabrati nas

Mi smo profesionalni proizvođač i dobavljač raznih poluvodičkih keramičkih prstena. Imamo profesionalnu fabriku i tim za proizvodnju poluprovodničkih keramičkih prstenova. Osim toga, specijalizirani smo za poluvodički keramički prsten i imamo kompaniju u Sjedinjenim Državama. Iskreno govoreći, pružamo prilično profesionalnu i iskrenu uslugu. Ako vam je potreban bilo kakav-kvalitetni keramički prsten od poluprovodnika ili drugi proizvođači keramike i dugoročni-partneri u inostranstvu, slobodno nas kontaktirajte. Podržavamo sve-prilagođavanja sa velikom poteškoćom i potrudit ćemo se da zadovoljimo vaše potrebe.

Ako imate pitanja o keramičkoj steznoj glavi, možete kliknuti na našuKontaktirajte nasdugme odmah, tu će biti profesionalna služba za korisnike koja će odgovoriti na vaša pitanja.
Radujemo se vašoj posjeti!